3轴微定位系统

... 快速、精确的微定位器 - HV / UHV / EUV，20 - 50 mm行程，0.2 µm重复性，1 kg负载 - 真空：所有范围HV / UHV / EUV - 润滑液体可达10E-8/干燥可达10E-11毫巴 - 最大。烘烤温度。120°C 可选择配置。 - 可提供磁性、低磁性和无磁性版本 - 不同的电机变体。压电马达或纳米运动 - 可选择配备高分辨率测量系统，重复精度可达0.005微米 - 可与旋转台结合用于旋转应用 - 可根据试验室中的安装情况进行单独调整 - ...

... MP53-3-PM - 真空紧凑型多轴系统 高分辨率微定位仪 - HV / UHV / EUV，10毫米行程，0.2微米重复性，0.5公斤负载 - 真空：所有范围HV / UHV / EUV - 润滑液体可达10E-8/干燥可达10E-11 mbar - 最大。烘烤温度。120°C 可选择配置。 - 可提供磁性、低磁性和无磁性版本 - 可选择配备高分辨率测量系统，重复精度可达0.005微米 - 可与旋转平台组合，用于旋转应用 - 可根据试验室的安装情况进行单独配置 - ...

... XY-Z微孔板扫描系统用于快速和平行分析、实验室自动化、细胞监测、药品测试和细胞学 - 实验室/分析 对微孔板进行快速和精确的分析 微孔板扫描系统能使结果一致，误差率最小。两个扫描系统在推拉运动中移动，从而补偿了加速度的反作用力。因此，该系统即使在桌面设置中也是静止的，并允许非常高的扫描运动精度。 高分辨率的25毫米聚焦轴具有微米级的分辨率，确保了最佳的分析结果。它可以配备一个双传感器臂或单传感器臂。操作可以是带有位置触发器的即时模式，也可以是带有两个执行器的惯性补偿的启动-停止模式。 ...

重复精度: 1.5, 0.4, 0.75, 0.15 µm
载荷: 7.5, 2 kg
运行行程: 40, 16 mm

... 我们的HexGen® HEX150-140HL在紧凑而坚固的平台上提供稳定可靠的六自由度（DOF）运动。您将从超精细定位分辨率、充足的有效载荷容量、高工艺吞吐量等方面获益。HEX150-140HL可与我们功能强大的运动控制器灵活集成，操作直观，是需要复杂多DOF运动而可用空间有限的应用的完美选择。 -体积小巧，运动范围大，可轻松集成到复杂应用中。 -支持高达7.5 kg的有效载荷，抗反向驱动能力高达100 N -使用我们的控制器可与其他运动轴（伺服、步进、压电等）进行协调 -提供简单、方便的枢轴点调整 -搭配功能强大的控制和可视化软件 HEX150-140HL是解决空间受限、多自由度、要求精细定位分辨率的应用的理想选择，这些应用包括 -光子设备操作、对准和封装 -光学检测和对准 -光学晶圆探测 -航空航天和卫星传感器测试 -同步加速器和光束线样品操作 ...