激光干涉仪 Qualifire™

菲佐

50 多年来，移相干涉仪一直是高精度表面形状计量仪器的首选技术。 这些干涉仪可快速、可靠地测量光学元件、系统和组件的表面形状误差和透射波前。 从研究环境到广泛的工业应用，激光干涉仪都能为质量保证和生产后分析提供高水平的数据可追溯性。它们已成为制造过程中不可或缺的一部分。 Zygo 的 Qualifire 为此类仪器面临的已知挑战提供了解决方案，代表了激光干涉仪的一次飞跃。 移相干涉仪的新方法 在许多现代光学测量系统中，Fizeau 设计使用一个固定的轴上相干点光源来照亮干涉腔。 在大多数情况下，这种设计都非常有效。 虽然移相和固定照明仍是黄金标准，但 Zygo 一直在寻求改进，并通过新的飞点选项探索了动态照明的优势。 Qualifier 激光干涉仪具有许多新颖的功能。 - 飞点：新的相干伪影消除技术 - 平面腔体自动对焦 - 稳定变焦 - 智能配件