光学轮廓测量仪 Nexview™ LS650

3D干涉测量实验室

Nexview™ 650计量系统是一种检测工具，用于自动测量注塑模具、PCB、玻璃面板和其他需要扩展工作体积的样品，最大尺寸为650 x 650 mm。它提供各种表面特征的二维和三维测量，具有亚纳米的垂直精度和亚微米的横向精度。 强大的性能 相干扫描干涉仪（CSI）是Nexview™ 650系统的核心测量技术。 这种非接触式技术提供了高精度和高价值的表面计量优势，包括。 - 测量几乎所有类型的表面，从粗糙到超光滑，包括薄膜、陡坡和大台阶。 - 亚纳米级的测量精度与现场放大率无关 - 量具的性能--为最苛刻的生产应用提供特殊的精度和可重复性。 - SureScan™振动耐受技术--几乎在任何环境下都能稳定运行。 - Mx™软件能够与其他ZYGO轮廓仪无缝交换数据，包括ZeGage™ Pro、NewView™ 9000和Nexview™ NX2。