线性位置传感器 ZPS™ 非接触式闭合回路光学
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产品规格型号
- 类型
- 线性
- 接触型/无线型
- 非接触式
- 所用技术
- 闭合回路, 光学, 红外, 光纤
- 输出信号
- 数字, 以太网
- 应用
- 工业, 狭小空间
- 其他特性
- 紧凑型, 绝对, 精准, 高精度, 高解析度, 微型, 高敏型, 本质安全, 分离电子式, 亚纳米级精度
- 测量范围
最少: 2.9 mm
(0.11 in)最多: 4.1 mm
(0.16 in)3.5 mm
(0.14 in)- 测量频率
最少: 1 Hz
最多: 208,000 Hz
产品介绍
多达64个同步通道的高精度非接触绝对位置测量
ZPS传感器ZYGO的ZPS™系统使用超紧凑的光学传感器测量绝对位置，这些传感器很容易集成到高精度的应用中，如可变形的镜子和镜头定位。
该光学传感器系统提供多达64个同步通道，在1.2毫米范围内进行高精度、非接触式的绝对位置测量。测量分辨率为0.01纳米，测量稳定性≤1纳米/天。
光学传感器光学传感器不产生热量，对电磁干扰不敏感，使ZPS系统成为可能受这些因素影响的高精度应用的理想选择。超紧凑的传感器通过光缆连接到紧凑的集中式外壳。ZYGO免费的ZPS™软件在ZPS系统和您的计算机之间提供了即插即用的连接，使您能够快速、轻松地启动和运行您的系统。
ZPS系统通常用于闭环反馈系统，这些系统需要来自多个传感器的连续高精度位置数据流，以补偿漂移并保持精确定位和对齐。该系统也可作为研发与工程和制造环境中的工具，用于测试夹具的对准或量化动态机械性能。
- 非接触式光学测量
- 可重复的绝对位置测量（≤0.5纳米，3σ)
- 使用专有补偿算法的高精度系统
- 超紧凑的传感器，没有EMI敏感性或发热
- 可靠的经过电信验证的光纤元件
- 可扩展，最多可达64个通道
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