大孔径干涉仪

激光高解析度

ZYGO的水平轴扩束器将4英寸干涉仪的原生孔径尺寸增加到12英寸、18英寸、24英寸甚至32英寸，使干涉仪在大尺寸光学元件和光学系统鉴定中的精度得到提高。 水平大孔径系统提供了独特的能力，可以保持两个独立的测量通道；一个是原始的4英寸干涉仪孔径，另一个是扩大到32英寸的光束，实现了两个干涉仪合一的灵活性。 当配置适当的附件时，大孔径系统可用于测量表面形状和传输波前质量。 ZYGO扩束器已在世界各地部署，以满足大尺寸光学计量的最苛刻和最精确的应用。 在扩束器开发和内部生产关键部件（如超精密参考平面）方面拥有数十年的经验，确保你的应用需求得到满足并在未来得到支持。 大孔径系统组件可以从干涉仪主机中单独购买。请联系您当地的ZYGO代表，协助配置系统以满足您的计量需求。 - 扩大的孔径尺寸为12"、18"、24 "和32" - 双通道4 "和扩大的腿部，增加了灵活性，大孔径和小孔径都可以使用 - 为高分辨率而设计，每个扩束器都能保持ITF，适用于高达3.4k x 3.4k的干涉仪系统 - 支持QPSI振动稳健采集 - 可提供从633 nm到1. 55 µm的工作波长 - 为每个孔径大小提供一系列的光学和机械附件，包括高达λ/25 PVr的参考光学器件