位移测量干涉仪 ZMI™ Series

光学激光光刻应用

ZYGO 的标准干涉仪配置支持多种类型的测量方案。大多数干涉仪可以支持直通或直角测量方向，并且可以在真空中工作。 该装置会测量回射器目标，用于跟踪主要在一个线性维度上移动或围绕一个固定点旋转的物体。ZYGO 提供标准和紧凑尺寸的线性干涉仪，以满足不同的空间限制要求。例如：十字刻线台、龙门系统、转向镜 该装置会测量平面镜目标，用于跟踪在多个线性维度上移动且旋转次数有限的物体。ZYGO 的平面镜干涉仪具有高稳定性，可减少热误差。例如：晶圆台、堆叠工作台系统 该装置会测量折射率的变化，用于补偿其他测量轴。ZYGO 的紧凑型波长补偿器提供了高精度的折射率变化反馈，可在环境条件下实现最佳的位移测量性能。 通过将光束从激光器传输到干涉仪，并最终传输到测量电子装置，完善测量系统。ZYGO 提供各种标准的转折镜、分光镜、光纤耦合器和光纤电缆，方便您灵活配置测量系统。 ZYGO 专业生产用于 OEM 应用的定制多轴干涉仪。定制设计允许在空间有限的应用中进行合并光束传输。它还减少了对准系统所需的时间，可在生产过程中实现更快的集成。