薄膜电容真空传感器 ZNX series

模拟带控制器紧凑型

ZNX传感器是一种基于电容微测原理的非接触式位置测量系统。两个传感器板（目标板和探头板）构成一个平行板电容器。使用适当的电子控制器可测量这两块板的间距，精度优于0.1 nm，量程达1.25 mm，频率响应达5 kHz，线性度达0.02%。由于ZNX传感器是一种非接触式方法，因此没有滞后现象。测量点无功率损耗。 - 精确测量到皮米 - 测量稳定 - 可调整以满足应用要求 - 广泛的应用选择 -主要特点 量程20 ~ 1250微米； 亚纳米位置分辨率 零滞后； 线性误差低至0.02%； 带宽高达5kHz； 可提供超级英华尔条款； 真空兼容选项； 线性误差 (%): <0.08, <0.08, <0.06, <0.05； 短量程μm: 20, 100, 250； 远距离μm: 50, 100, 500； 模拟输出：±5、±5、±5、8； 最大带宽：5、5、5、12.5Khz。