这是一种旋转容积式真空泵。两个 8 形转子与泵腔保持一定间隙。通过一对同步反向旋转的高精度齿轮,两个转子在泵腔内旋转时不会相互接触,并保持一定的间隙。
它的优点是在较低的入口压力下仍有较大的抽气速率,但普通罗茨真空泵不能单独使用,必须与前级真空泵配合使用。只有在前级真空泵将系统中的压力抽到罗茨真空泵允许的压力后,才能启动罗茨真空泵。
根据不同的工作压力和工艺条件,罗茨真空泵的前级真空泵可采用油封机械真空泵、液环真空泵、无油螺杆干式真空泵等。配备不同类型的前级真空泵后,罗茨真空泵的性能指标也不同。罗茨真空泵主要用于任何需要大抽速、粗真空和中真空(10°~10-Pa.)的真空系统中,如:真空镀膜、真空焊接炉、真空热处理炉、大型空间模拟试验、微电子和集成电路、灯泡制造、激光制造、真空包装、集中排气系统、各种化学处理、真空脱气、真空脱水、真空冷冻干燥和真空蒸馏等。
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