MEMS可燃氣體感測器是在Si基板基礎上採用MEMS微加工熱板,氣敏材料採用清潔空氣中低電導率的金屬氧化物半導體材料。當感測器暴露在氣體氣氛中時,電導率會隨著檢測空氣中氣體濃度的變化而變化。氣體濃度越高,電導率越高。利用簡單的電路即可將氣體濃度的電導率變化轉換成對應的輸出訊號。
應用
手機、電腦和其他消費性電子應用的氣體洩漏檢測;也適用於家庭、商業用途的可燃氣體洩漏監測裝置、瓦斯洩漏偵測器、消防/安全偵測系統。
功能
MEMS技術,堅固的結構
對可燃氣體高度敏感
體積小、功耗低
快速響應和恢復
驅動電路簡單,壽命長