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离子源陶瓷
板
管
棍棒
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产品规格型号
形状
板, 管, 棍棒, 环形
组成
用于氮化硅, 氮化铝
其他特性
绝缘, 离子源
产品介绍
C.离子注入器配件和陶瓷配件的应用案例 1.离子注入器配件案例 离子注入器配件的应用实例包括制造离子注入器的关键部件,如轴承、真空吸盘、静电吸盘、喷嘴、灯丝、阴极模块等。由于具有高硬度、高强度和高耐热性,陶瓷配件能够提高离子注入机的性能和可靠性。 2.半导体制造设备案例 离子注入机配件半导体制造设备案例陶瓷配件包括制造半导体制造设备的关键部件,如封装基板、绝缘材料等。由于陶瓷配件具有优异的电绝缘性和化学稳定性,可确保半导体制造设备在恶劣环境中长期稳定运行。
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