BN-AlN 陶瓷由氮化硼(BN)和氮化铝(AIN)粉末烧结而成。它具有优异的电绝缘性、导热性、高强度、抗热震性和较强的抗卤素气体等离子体的能力,因此应用范围非常广泛,包括半导体生产设备部件和需要有效散热的部件。
离子源是在真空室中产生原子和分子离子的装置。氮化铝/氮化硼复合材料具有优异的电绝缘性、导热性和真空密封性,并且不会释放出太多气体。因此,它在离子源中起着散热片和导热板的作用。
材料优点
机械强度高。
热导率高。
热膨胀率低
介电损耗低
优异的电绝缘性
高耐腐蚀性--不被熔融金属浸湿。
优异的机械加工性能-BN-AlN 可以加工成高精度的复杂形状。
具有出色的真空密封性,不会释放出太多气体。
具有高频波特性,可使可见红外线轻松通过。
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