陶瓷机械臂

用于晶圆操作

氧化铝陶瓷零件用于光刻机和真空状态下的旋转零件。这需要极高的加工精度，内圆的跳动要求在2微米以内。 精细陶瓷已经成为半导体设备的关键部件。特别是在高端光刻机中，为了达到较高的工艺精度，需要广泛使用功能复合性好、结构稳定、热稳定性好、尺寸精度高的陶瓷部件。如E-chuck、Vacumm-chuck、Block、磁钢骨架水冷板、反射器、导轨等。 另一种用于半导体行业的高精度陶瓷部件 精密陶瓷已成为半导体设备的关键部件，包括单晶炉、离子注入设备、光刻机、CVD/PVD设备以及封装和测试设备。