INNOVACERA® PBN陶瓷部件包括PBN盘、PBN板、PBN丝环、PBN VGF坩埚、PBN LEC坩埚、PBN MBE坩埚、PBN锥形坩埚以及其他PBN机加工定制部件。
PBN是六方氮化硼的一个等级。它是通过化学气相沉积工艺来制造其坚固的主体,所有的氮化硼晶体都是平行于气相沉积的表面生长。由于CVD工艺的性质,PBN产品一般要求产品;厚壁产品不超过3mm。PBN也是极高纯度氮化硼的正确选择。由于气体材料的纯度(BCl3+NH3->BN+HCl)比普通氮化硼粉末高很多,所以PBN的纯度相当高,99.99%是平均等级。凭借其高纯度、高机械强度、与熔融金属和盐类的高性能,PBN正在成为高真空工艺中广泛使用的材料。没有显示熔点和高导热性,热解成分是作为真空炉部件的理想选择。CVD工艺使这种PBN具有几乎完美的分层结构,这导致了各向异性的导热性,使其成为制作晶体生长的坩埚的理想材料。
分子束外延(MBE)是镓-砷晶体生产的标准工艺,而PBN是制造MBE坩埚的理想材料。
INNOVACERA®高性能热解氮化硼的特性如下:
良好的导热性
高绝缘电阻
在广泛的温度范围内具有高的介电强度
极为纯净
不湿润
无毒
对大多数其他化合物不产生反应
可承受高温和快速冷却
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