Innovacera提供用于真空卡盘的多孔陶瓷板/盘,它主要用于在研磨和切割时支撑和卡住半导体晶圆。它适用于减薄、切割、清除、运输等过程中。
只有一种尺寸的库存(Dia200*T3mm,15um),可提供定制尺寸。
主要应用领域:
- 新的和翻新的多孔陶瓷卡盘,用于Disco, ADT, K & S, Applied materials TSK, OKAMOTO, Micro Automation, Load Point等公司的切割锯和研磨机。
- 6英寸、8英寸、"12英寸是常规尺寸,孔径大小包括15微米、30微米、50微米、100微米。
材料是氧化铝(颜色:白色、浅棕色、深棕色、蓝灰色)。
- 我们可以定制尺寸(如方形、椭圆形或不规则形状)。
特征包括
高平整度和平行度
紧凑而均匀的微观结构,强度高
渗透性好,吸附亲和力均匀
使用寿命长
敷料容易。
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