XY轴位移台

压电双轴高精度

XY-XLS 由两个 XLS 级组成，堆叠在彼此之上，无需使用额外的适配器板。 使用 XY-XLS，可以以 2-DOF 进行定位，具有纳米精度和重复性。 由于 XLS 级采用超声波驱动原理，XY-XLS 寿命长、快速、无噪音，并且在断电时保持其位置。 甚至可以以非常低和恒定的速度（µm/s）移动。 这些特性使其成为材料科学应用的完美显微镜台或多 DOM 定位器。 XY-XLS 可用于真空，由非磁性材料制成。