线性位移台 XLS-1 Ultimate Series压电亚微米精度适用真空
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产品规格型号
- 方向定位
- 线性
- 其他特性
- 亚微米精度, 适用真空, 亚纳米解析度
- 运行行程
最多: 102 mm
(4.016 in)最少: 27 mm
(1.063 in)- 速度
最多: 200 mm/s
最少: 0 mm/s
产品介绍
Xeryon 线性级 (XLS) 是由无噪声超声压电电机驱动的精确线性级。 这样可以实现纳米精度的快速定位。 自锁式压电马达在不供电时保持舞台的位置。 因此，能耗和发热量大大降低。 集成编码器具有 10 nm 的分辨率。
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