完美集成的多传感器技术在实验室中的应用
由于采用了特殊的空气轴承技术、集成的振动绝缘、温度稳定的刻度和驱动系统以及高性能的控制系统,高精度(超精度)多传感器坐标测量机的可实现的长度测量偏差在十分之几微米的范围内。主要应用于精密工件和3D微观几何形状。
• 精确优化的固体花岗岩结构,带有固定的入口
• 测量体积为400 mm x 400 mm x 250 mm,在该机器级别中是独一无二的。
• 利用远心精密光学器件和高性能轮廓图像处理进行高精度光学测量
• 集成额外的高精度传感器,如获得专利的触觉-光学微传感器Werth Fiber Probe® 或色觉焦点传感器。
• 由于快速的对比度自动对焦,在Z轴上进行了高精度的测量
准确度
允许的长度测量偏差最大为0,15 µm
• 车削的零件
• 泉水
• 隐形眼镜和模具
• 塑料光学元件
• LED阵列
• 非球面镜片
• 球形透镜
• 微型齿轮