完美集成的多传感器技术
VideoCheck® HA 是 VideoCheck® FB 的高精度版本,也可配备多个独立的传感器轴。在获得专利的光栅扫描高清操作模式下,移动过程中捕捉到的单个图像会叠加形成一个分辨率高达 20,000 万像素的整体图像,从而实现高精度的快速 "画中 "测量。VideoCheck® HA 也是其他高精度传感器(如获得专利的Werth Fiber Probe® )的理想选择,具有广泛的应用范围。可获得半导体行业的 SEMI 认证。
• 如果观察到规定的长度测量偏差,空气轴承花岗岩测量台可以装载100 kg,或者选择装载250 kg。
• 对于特别重的工件的测量,可以去掉透射光附件。
• 独立的传感器轴使测量范围得到最佳利用,例如,SP80触觉传感器和一个旋转接头可与SP25三维测量探头在同一轴套上互换,而第二个轴套则配备了光学和触觉-光学多传感器
• 减少传感器和工件之间碰撞的风险
• 也可以在以后加装第二个轴套
准确度
允许的长度测量偏差达0,25 µm