SmartTrak®热式质量流量计和质量流量控制器是真正的多气体数字MFC,旨在提供平稳、稳定、准确和可重复的气体质量流量控制,每次都值得信赖。
基于毛细管技术的气体质量流量计和控制器,满量程精度可达0.5%。
所有润湿部件均为不锈钢,0.8 Ra µm电抛光表面。可在洁净室组装
每个单元都有10个预设的气体,可供客户选择
可选择客户可选择的工程单位、气体、输出、范围等。
由于先进的工程设计,选择的每一种气体都很精确
适用于大多数腐蚀性和侵蚀性的干燥和清洁气体
可选择本地显示和本地设置点/配置
每个单元上都有大多数模拟和RS232通讯标准
主动温度补偿,不受温度影响的操作
强大的直接驱动阀
可选的Modbus通讯
Modbus模块带有模拟输入/输出和I/O报警触点
弹性体和阀门密封材料的广泛选择
长期稳定的传感器
用于MS Windows的免费配置软件
由于大阀门,可以实现非常低的压差
每个单元都用初级NIST可追溯的高精度参考标准进行了校准
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