室式炉

真空自动工业

炉子 我们的炉子是完全自动化的，具有方便的工具和设计，可完全根据客户的能力和需求进行不同的可控加热区。 我们的设备适用于这些直径为 100、150、200、300 毫米的晶圆类型。 真空炉 Vegatec 设计和制造真空炉及其所有自动化系统，用于微电子、纳米电子和光伏的实验室和工业。 这些炉具如下; 低压化学蒸汽沉积 (LPCVD) 工 艺是; 氮化硅 TEOS 氧化物 低温氧化物 (LTO) 高温氧化物 (HT O) 掺杂多 晶硅硅氧化 硅硅硅硅 硅硅化等离子体增强化学气相沉积 (PECVD) 工 艺有： 氧化 硅氧化 硅氧化硅氧化硅 磷和硼掺杂 真空退火的一 般特点真空炉 易于使用和易于维护，因为用户友好的设计 高纯度石英制成的炉腔和悬臂式样品架能 够在 10 级洁净室中工作， 能够在真空下工作至 10-6 高质量的组件使用寿命长 单独控制的加热区 易于使用自动化接口 可堆叠式炉管，可同时对不同工艺进行紧凑设计，可 根据客户 实验室或工业规模手动或自动装载能力