室式炉

氧化气氛受控用于电子工业

炉子 我们的炉子是完全自动化的，具有方便的工具和设计，可完全根据客户的能力和需求进行不同的可控加热区。 我们的设备适用于这些直径为 100、150、200、300 毫米的晶圆类型。 大气炉 Vegatec 设计和制造大气炉及其所有的自动化系统，用于微电子、纳米电子和光伏的实验室和工业。 这些炉是如下; 氧化炉 (湿式氧化和干式氧化) 扩散炉 掺杂炉 退火炉的 一般特点大气炉 易于使用和易于维护由于用户友好的设计 炉腔和悬臂式样品架采用高纯度石英制成， 最多可在 10 级洁净室工作， 高质量的部件使用寿命长 单独控制的加热区 易于使用自动化界面 可堆叠式炉管，适用于不同的紧凑设计工艺同时 根据每个客户 实验室或工业规模手动或自动装载容量的能力