MOCVD镀膜机 TurboDisc® MaxBright® MHP™

薄膜

TurboDisc® MaxBright® MHP™ GaN MOCVD多反应器系统代表特别地被设计的最新的模件高性能系统导致优秀出产量20%在之内薄酥饼波长在相似的脚印、操作性能、好处和布局配置MaxBright的均一改善。 多反应器的硬件推进提供横跨所有薄酥饼的被改进的波长均一达到更高的出产量。 MaxBright MHP也提供更低的归属花费在MaxBright。 系统结合在一模件2的多台高生产量MOCVD反应器-或4反应器群建筑学支持Veeco的生产被证明的一致的FlowFlange®技术和自动化专门技术。 凭Veeco的非常成功的K465i设计，保证膨胀的薄酥饼容量和先进的系统包括改善的反应器，业主，闭环热量控制技术。