3D 激光加工 Ultratech LSA 101

LSA101 激光尖峰退火系统 Veeco 的 LSA101 Ultratech 系统被全球领先的 IDM 和代工厂选用，是大批量生产从 40 纳米到 14 纳米节点的先进逻辑器件的首选技术。LSA 的扫描系统基于可定制的 Unity Platform™，在均匀性和低应力加工方面具有重大优势，使其能够适用于当前和未来的设备节点。LSA101 系统实现了关键的毫秒退火应用，使客户能够保持较高的加工温度，从而实现更高的器件性能、更低的泄漏和更高的良品率。 标准 LSA101 配置使用单个窄激光束来加热晶圆表面，使其从衬底温度达到峰值退火温度。开发了 LSA 双光束技术，以扩大非熔体激光退火的应用空间，并采用第二个低功率激光束以实现低温加工。 使用双光束时，加入第二个更宽的激光束来预热晶圆。双光束系统在调整温度和应力曲线方面具有灵活性。