PVD镀膜机 NEXUS IBD离子束辅助
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产品规格型号
- 方法
- PVD
- 所用技术
- 离子束辅助
产品介绍
NEXUS IBD 离子束沉积系统
适用于强偏磁层、含铅层、隔离层和传感器叠层沉积
通过 Veeco 的第三代 NEXUS® 离子束沉积 (IBD) 系统，数据存储生产商可以极大提高 80Gb/in2 传感器的良率，并能满足未来 TFMH 器件制造的要求。
支持各种器件（从当前的 CIP 到先进的 CPP 器件）
适用于 MRAM 应用以及 GMR 和 TMR 薄膜磁头
增强了对所有准直沉积应用的 CD 控制
通过沉积流柱对称到达，实现更锐利的出射角度
平台与 PVD、IBE 和其他技术轻松整合
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