分子束外延系统 GEN200®

GEN200 MBE 系统 市场中最经济高效且产量最高的 multi-4" 生产 MBE 系统 Veeco 的 GEN200® MBE 系统是如今市场中最经济高效且产量最高的 multi-4" 生产 MBE 系统。该系统具有优异的生产能力、较长的运行时间，可为诸如泵激光器、VCSEL 和 HBT 等器件应用生长质量卓越的基于 GaAs 或 InP 的薄片。 提供成本最低的 4 x 4" 磊晶片生长 模块化体系结构的系统占用空间明显小于同类 MBE 系统 最多支持两个生长模块，提高了产量或允许生长不兼容材料 可选隔板安装，优化了清洁室空间 包含行业内最具创新性的可靠系统硬件、源和组件