蝶阀 615 series
电动隔离压力调节

蝶阀 - 615 series - VAT Vakuumventile AG - 电动 / 隔离 / 压力调节
蝶阀 - 615 series - VAT Vakuumventile AG - 电动 / 隔离 / 压力调节
蝶阀 - 615 series - VAT Vakuumventile AG - 电动 / 隔离 / 压力调节 - 图像 - 2
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产品规格型号

种类
蝶形
驱动类型
电动
功能
隔离, 压力调节
阀体
不锈钢, 阳极氧化铝
应用
半导体工业
其他特性
高压
通径

40 mm, 50 mm, 63 mm, 80 mm, 100 mm
(1.575 in, 1.969 in, 2.48 in, 3.15 in, 3.937 in)

压力

1,000 mbar
(14.5 psi)

温度

50 °C, 120 °C
(122 °F, 248 °F)

产品介绍

半导体,FPD和工业生产方法,特殊CVD系统。 作动器 超速的作动器(90女士) 与构形的PI参量的控制器 RS232与2模拟输出的接口 以太网接口 DeviceNet接口 逻辑接口 Profibus接口 RS-485接口 CC链接接口 EtherCAT接口 SPS = ± 15V DC在停电的传感器电源) PFO =停电选择(阀门自动地关闭或打开 阀门 直径名词性的词:DN 40/50与ISO-KF DN 63/80/100与ISO-F 其他耳轮缘(JIS、ASA-LP,CF-F) 顾客指定了耳轮缘 铝坚硬正极化或镀镍层 其他密封材料 有绝缘材料的加热器阀门温度的80°C,100°C,120°C

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