闸阀 162 series
气动操控式制动阳极氧化铝

闸阀 - 162 series - VAT Vakuumventile AG - 气动操控式 / 制动 / 阳极氧化铝
闸阀 - 162 series - VAT Vakuumventile AG - 气动操控式 / 制动 / 阳极氧化铝
闸阀 - 162 series - VAT Vakuumventile AG - 气动操控式 / 制动 / 阳极氧化铝 - 图像 - 2
闸阀 - 162 series - VAT Vakuumventile AG - 气动操控式 / 制动 / 阳极氧化铝 - 图像 - 3
闸阀 - 162 series - VAT Vakuumventile AG - 气动操控式 / 制动 / 阳极氧化铝 - 图像 - 4
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产品规格型号

种类
闸门
驱动类型
气动操控式
功能
制动
阀体
阳极氧化铝
应用
半导体工业
其他特性
紧凑型, 常闭, 单作用, 用于腐蚀性流体
通径

最少: 200 mm
(7.874 in)

最多: 500 mm
(19.685 in)

压力

最少: 5 bar
(72.5 psi)

最多: 7 bar
(101.5 psi)

温度

50 °C, 80 °C, 120 °C
(122 °F, 176 °F, 248 °F)

流量

最少: 11,000 l/s
(2,905.89 us gal/s)

最多: 101,500 l/s
(26,813.46 us gal/s)

产品介绍

适用于苛刻的半导体工艺,如 CVD 和 ETCH。

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