压力调节阀 612 series
蝶形电驱动ISO法兰连接

压力调节阀 - 612 series - VAT Vakuumventile AG - 蝶形 / 电驱动 / ISO法兰连接
压力调节阀 - 612 series - VAT Vakuumventile AG - 蝶形 / 电驱动 / ISO法兰连接
压力调节阀 - 612 series - VAT Vakuumventile AG - 蝶形 / 电驱动 / ISO法兰连接 - 图像 - 2
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产品规格型号

种类
蝶形
驱动类型
电驱动
功能
压力调节
阀体
ISO法兰连接, 不锈钢, 阳极氧化铝
应用
半导体工业
其他特性
ISO, 带步进马达
通径

最少: 25 mm
(0.984 in)

最多: 320 mm
(12.598 in)

压力

最少: 75 mbar
(1.1 psi)

最多: 1,000 mbar
(14.5 psi)

温度

最少: 35 °C
(95 °F)

最多: 150 °C
(302 °F)

流量

最少: 6 l/s
(1.59 us gal/s)

最多: 27,000 l/s
(7,132.65 us gal/s)

产品介绍

应用领域:半导体、FPD/CVD系统和工业生产方法。

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