超高真空阀门 010 series
闸门手动气动

超高真空阀门 - 010 series  - VAT Vakuumventile AG - 闸门 / 手动 / 气动
超高真空阀门 - 010 series  - VAT Vakuumventile AG - 闸门 / 手动 / 气动
超高真空阀门 - 010 series  - VAT Vakuumventile AG - 闸门 / 手动 / 气动 - 图像 - 2
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产品规格型号

种类
闸门
驱动类型
手动, 气动
功能
隔离
阀体
微型, 不锈钢
应用
工业用途, 超高真空, 半导体工业
其他特性
紧凑型, 单作用, 双作用
通径

16 mm, 25 mm, 40 mm, 50 mm
(0.63 in, 0.984 in, 1.575 in, 1.969 in)

压力

最少: 5 bar
(72.5 psi)

最多: 7 bar
(101.5 psi)

温度

50 °C, 80 °C, 200 °C, 250 °C
(122 °F, 176 °F, 392 °F, 482 °F)

产品介绍

以一个模件作动器概念为特色的紧凑微型UHV闸式阀为工业和R&D应用是非常合适的。这是常用的在半导体过程系统管道系统。

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