闸阀 053 series气动铝制半导体工业
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产品规格型号
- 种类
- 闸门
- 驱动类型
- 气动
- 阀体
- 铝制
- 应用
- 半导体工业
- 其他特性
- 双效, 用于腐蚀性环境
- 通径
50 mm, 336 mm, 480 mm, 500 mm
(1.969 in, 13.228 in, 18.898 in, 19.685 in)- 压力
最少: 4 bar
(58 psi)最多: 7 bar
(101.5 psi)- 温度
最少: 0 °C
(32 °F)最多: 120 °C
(248 °F)
产品介绍
对装载锁/处理模块隔离。对300mm和450mm半导体应用。
作动器
其他电磁阀电压(标准24VDC)
插入物
其他密封材料，即FFKM，VMQ，FVMQ门封印
在门的O环封印而不是加硫的封印(标准)
门不锈钢
双重位置指示器
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