闸阀 652 series
电动隔离压力调节

闸阀 - 652 series - VAT Vakuumventile AG - 电动 / 隔离 / 压力调节
闸阀 - 652 series - VAT Vakuumventile AG - 电动 / 隔离 / 压力调节
闸阀 - 652 series - VAT Vakuumventile AG - 电动 / 隔离 / 压力调节 - 图像 - 2
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产品规格型号

种类
闸门
驱动类型
电动
功能
隔离, 压力调节
阀体
铝制
应用
半导体工业
其他特性
紧凑型, 高性能, 用于腐蚀性环境, 带步进马达
通径

200 mm, 250 mm
(7.874 in, 9.843 in)

温度

最少: 0 °C
(32 °F)

最多: 120 °C
(248 °F)

产品介绍

优选为腐蚀性半导体和FPD过程(即铭刻)和为在证言过程之间的清洗的过程。在控制方式下,阀门运转实际上微粒自由。维护可以是做的容易和快速的。好处是延长的控制范围。

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