闸阀 651 series
电动隔离压力调节

闸阀 - 651 series - VAT Vakuumventile AG - 电动 / 隔离 / 压力调节
闸阀 - 651 series - VAT Vakuumventile AG - 电动 / 隔离 / 压力调节
闸阀 - 651 series - VAT Vakuumventile AG - 电动 / 隔离 / 压力调节 - 图像 - 2
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产品规格型号

种类
闸门
驱动类型
电动
功能
隔离, 压力调节
阀体
铝制, 阳极氧化铝
应用
半导体工业
其他特性
用于腐蚀性环境, 电机驱动, 带步进马达
通径

最少: 160 mm
(6.299 in)

最多: 400 mm
(15.748 in)

压力

最少: 4 bar
(58 psi)

最多: 7 bar
(101.5 psi)

温度

最少: 0 °C
(32 °F)

最多: 120 °C
(248 °F)

产品介绍

针对腐蚀性半导体和 FPD 工艺(例如蚀刻)以及沉积工艺之间的清洁工艺进行了优化。 在控制模式下,阀门几乎无颗粒。 维护可以简单快捷。

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