离子溅射源 MERKURION-150-BASIC

类别 - MERKURION® basic 项目描述 - 离子获取器泵。 二极管泵元件样式 (正极性)，带 进口法兰DN100 CF和 标称泵速145升/秒。 电气连接器10 kV SHV (与SAFECONN兼容) 在 +3000 ..+7000 V 烘烤温度（无磁铁） - 450 °C 烘烤温度（带磁铁） - 250 °C 文章编号 - 373823 连接类型 - CF 公称直径 DN - 100 外直径 - 152毫米 最小工作电压 - 3 kV DC 高压连接 - 10 kV SHV (SAFECONN) 带加热器 - 没有 最大工作电压 - 7kV DC 对惰性气体稳定 - 没有 泵送元件 - 传统的二极管 纯度等级 - PCS 最小极限压力 - 1E-11 mbar 最大启动压力 - 1E-3 mbar 标称泵送速度 - 145升/秒