螺杆真空泵 MS

干式单级气体

干式真空泵MS系列 MS系列是一种真空泵，属于螺杆式干式真空泵。 在传统的LS系列的基础上，耐腐蚀和排粉的工艺模型得到了改进。该型号是为使用腐蚀气体和粉末排放的过程而设计的。 特点 通过对转子轴和气缸等主要部件的特殊涂层处理，实现了抗腐蚀。 采用ULVAC独特设计的转子轴，使排粉性能高。 实现了接近大气压的连续泵送 特殊功能/进一步应用 用于半导体和电子器件制造设备的真空系统 蚀刻、灰化、等离子清洗等。 炉子的真空系统 烧结、渗碳等。 锂离子电池制造设备的真空系统 电极干燥、脱气、真空注射等。 医疗和食品的真空系统 冻干、真空干燥等。