-接近大气压的高泵速可大幅缩短泵停机时间。
-内置的 ECO-SHOCK 技术可显著降低功耗,适用于清洁应用。
-内置消音器可实现 61 分贝 (A) 或更
低的运行成本
-提供 4 种型号,泵速介于 120 ~ 1200m3/h
清洁工艺(“C 型”):适用于空气和 N2(LS * * A-C)等气体的清洁工艺
-TMP 后备泵等
-负载锁定室
- 层压
-蒸汽沉积
-溅射
光工艺 (“L 型”):用于涉及蒸汽和其他难气体的光工艺 (LS * * * A-L)
-一般工业用途
-灰化
-冷冻干燥
-真空干燥
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