退火炉 MILA 5000

MINI 灯退火器米拉 5000 迷你灯退火器 快速热处理（RTO）已成为退火半导体、铁电等薄膜设备的重要加热技术。 但直到最近，只有大型和昂贵的生产系统才能用于这种快速加热/冷却技术，这使得研发工作难以完成，尤其是对于小样品。 为了满足这一需求，先进 RIKO 开发了 MILA-5000 迷你灯退火器。 这款紧凑型桌面 RTP 系统围绕着金色反射镜红外炉构建，包含一个高精度温度控制器。 MILA-5000 配备可选的抽气进气设备，能够在小样品上提供与大型生产规模 RTP 装置相同的性能，其尺寸和成本的一小部分。