函数发生器 DPG-5P/DPG-10P

脉冲电压放电

脉冲直流发电机 DPG-5P/D PG-10P 是用于反应溅射的5千瓦/10千瓦脉冲直流发电机。 该发电机将负输出电压改为加电压，放电目标表面的存储电子电压。 通过这种方法，提高了产量和吞吐量。高吞吐量 通过减少异常 放电实现高功率输入 减少基板损伤 能够减少弧线引起的基板损伤 可变反转脉冲频率 可能的范围：10kHz 至 250kHz 能够大型 通过主/从连接能力 多达六个单元可以并行运行（相同的型号 可用） 对应于直流输出 它取消脉冲功能，并可以输出直流 特殊特性/进一步应用 用于 FPD 反应溅射设备的反应溅射设备 用于彩色 TFT 工业涂层反应溅射设备