电压发生器 DPG-30 R

DPG-30R 是用于溅射应用的 30kW 直流发电机，采用可靠的零件和电路设计。 而低电弧能量电路在产生电弧时会立即中断输出，作为标准规格配置。 通过连接专用控制器，该发电机可作为 30kW 至 240kW 的发电机系统使用。通过 可靠的部件和电路设计，提高了可靠性。 配备低电弧能量电路 ， 当电弧产生时立即中断输出的低电弧能量电路，作为标准规格配备。 宽范围功率输出控制 可通过 单个控制器 (DPG MC120R) 同时输出高达 120kW，并控制多达 4 台发电机 (DPG-30R)。 单个控制器（DPG MC240R）可同时输出高达 240kW，并控制多达 8 台发电机（DPG-30R）。 无需冷却水进行 空气冷却。 宽范围输入功率 AC380 至 480V ± 10%。 无控制器操作 在 30kW 或更低的情况下，可以使用外部控制端子在无控制器的情况下运行。 特殊特点/其他应用 平板显示溅射 半导体溅射 工业涂层溅射