DPG-10/DPG-20 是用于溅射的10千瓦/20千瓦直流发电机。 它们由可靠的组件和电路制成。 这些高度可靠的发电机已针对等离子负载进行了优化,其设计反映了我们多年的经验,包括发电机应用。
重量轻、节省空间的设计,具有出色的安装
灵活性。
可选择的输出电压范围
除了 1000V 规格外,我们还提供 800V 规格
产品阵容。
广泛的电弧处理
熟悉等离子体广泛的电弧控制方法。
无需冷却水
强制空气冷却,无需冷却水。
可配备高速电弧关闭电路,
实现低电弧能量作为标准配置。 也可配备
高速电弧截止电路作为选件。
可配备灵活的并行操作功能
DPG-10,DPG-20:具有可选的并行操作功能,10kW
和 20kW 可组合,允许多达 12 个单元在
并行操作中协同工作。(最大 240kW)
特殊功能/其他应用
平板显示屏 溅射
半导体溅射
触控面板溅射
工业涂层溅射
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