工艺气体分析仪 QULEE RGM series
监控工艺流程压力

工艺气体分析仪 - QULEE RGM series - ULVAC GmbH - 监控 / 工艺流程 / 压力
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产品规格型号

措施目的
工艺气体
应用领域
监控, 工艺流程
测量值
压力
配置
紧凑型

产品介绍

反应性过程气体监测系统-QULEE RGM 系列 此过程监测系统专为蚀刻、CVD 等各种应用而开发。 使用 ULVAC 原有的离子源和泵送系统,可以实现稳定的测量结果。最适合蚀刻/CVD仪器 长期稳定的测量结果, 闭合离子源利用磁场 软电离提供更少的气体解散和更高的灵敏度。 热反应引起的分解和吸附在电 离室中最小化。 具有 3 种不同气体入口模式的紧凑型电导阀, 工艺室与离子源之间距离短,可以 快速响应分析。 适用于过程监控的 压力范围从 1 × 10-6 到 13kPa(7.5 × 10-9 到 97.5 托拉, 1 × 10-8 到 130 毫巴)。 ( 可选) 集成显示屏 无需电脑 简单操作 “一键式” 功能 烘烤 最大值 120 ˚ C (248 ˚ F) 高温烘烤 德加功能电子轰击脱气 保护和维护离子源和二次电子的保护和维护 分析管的乘数可追溯性(专利申请中) 各种泄漏 测试包括氦气泄漏测试、空气泄漏测试、泄漏 总压力测量 能够进行总压力测量(外部电离表(GI-M2) Qulee QCS 包含此软件和 兼容(视窗XP/7)

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