工艺气体分析仪 QULEE CGM series

残余气体监控工艺流程

紧凑型工艺气体监测仪-QULEE CGM 系列 “KLEE”（发音为 “KLEE”）是 ULVAC 在工艺过程中用于残余气体分析和气体监测的最新模型。 新产品设计中纳入了来自不同生产线的设备工程师的反馈，提供了极简的设计。 Qulee 即使在高压下也能提供高精度和分辨率（1Pa 或更低）。适用于溅射系统， 非常适合各种溅射系统过程监控， 不需要差分泵系统（1Pa（7.5 × 10-3 托尔， 1 × 10-2 mbar）或更低）。 集成显示 无需使用 PC 简单操作 “一键式” 功能 烘烤 最大值 120 ˚ C (248 ˚ F) 高温烘烤 ( 移除传感器时为 250˚ C (482 ˚ F)) 德加斯功能 电子轰炸机脱气 保护和维护特点 离子源和二次电子倍增器 保护维护 帮助功能 分析管的可追溯性（专利申请中） 各种泄漏测试提供 氦气泄漏测试，空气泄漏测试，构建测试 总压力测量 能够测量总压力（电离表） Qulee QCS 包含 此软件 包含并与（Windows 7/8） QIP（快速安装封装系统）兼容，包括 自动测量封装（详情请参阅选项目录） 适用于光伏、FPD 和半导体系统的 CE 过程监控（ PVD 系统中的残余气体分析 杂质 (H2O 等) 控制在 PVD 系统中 用于泄漏测试