皮拉尼真空计 G-TRAN SP1

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G-TRAN 系列皮拉尼量表传感器单元 SP1 传感器单元 SP1 是一个集成的皮拉尼量表，由 WP 系列量表头和电路组成，范围为 3000 至 0.4 帕（22 至 3 × 10-3 托尔 / 3 至 4 × 10-3 毫巴）。 该真空计通过最小化功能来降低成本并节省空间。 这是通过删除显示器。传感器规格 如果您不需要压力显示设备： 您可以降低与真空计相关的成本。 您可以通过最小化控制面板来节省空间。 您可以最大限度地减少接线电路。 可维护性 更换传感器头非常简单。 长丝材质：铂金 (Pt) 耐腐蚀铂用于纤丝材料。 能够使用 WP 系列测量头 您可以在不 修改的情况下使用电流测量头（WP-01，02，03，16）。 控制输出信号 可使用两个设定点。 输出信号 压力读数为 0 至 5V 输出（非线性）。 电源 电压单元采用 DC24V 输入。在 半导体、光学和电子零件制造等真空设备的低真空范围内进行过程控制。 真空@@ 炉等工业设备在低真空范围内进行 工艺控制；对于具有 在线溅射和单晶圆 加工设备等多个工艺室的真空系统，在低压范围内进行工艺控制。