电容计 CCMT-D series

电容计 - CCMT-D series - ULVAC GmbH
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产品介绍

CCMT-D 系列陶瓷电容压力计, CCMT-D 系列是一种电容压力计,用于检测由陶瓷(氧化铝)制成的屏障膜因气体压力变化而变形时产生的静态电容。采用陶瓷传感器 耐腐蚀陶瓷传感器 优秀 长期信号稳定性 绝对压力测量 不依赖于气体类型的全压力测量 可以 短热时间 上电后快速稳定 温度补偿 保护功能 传感器免受污染 轻松零点调节 按钮零点调节 输出信号 精确线性输出(DC 0 至 10V) 电源输入 宽范围电压电源(DC14 至 30V) 小尺寸、轻量级传感器 尺寸紧凑,重量为 329g(管道端型) 真空熔化或 真空热处理 薄膜 ILMS 沉积系统 减压炉 气体交换或气体密封等 PV, FPD 制造设备

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