扩散真空泵 ULK series

润滑单级

油扩散真空泵 ULK 系列 ULVAC 的扩散泵 ULK 系列不仅为了优异的性能，而且为了极低的运行成本而开发。专为大临界背压而设计， 在低至 10-2 Pa 的压力下非常稳定的性能 使用软管法兰（除 用于 ULK-04A 和 06A 的通风法兰） 泵可以很容易地清洗（零件可以很容易地拆卸）。 配备机制，可阻止工作流体流向辅助泵。