涡轮分子泵 UTM 系列
UTM 系列是一款全刀片型涡轮分子泵,具有轴轴轴承(下侧)和磁轴承(上侧)。 采用枢轴轴承可减少高速旋转时的机械接触。 此外,实现了低振动和高压缩比。采用磁性轴承作为上部,
采用枢轴轴承作为下部,
消除了高速旋转时的机械接触。
因此,轴承更换和换油变得
不必要,延长轴承的使用寿命。
精细的动态平衡转子和
高效的轴承通过原始叶片的设计,实现了
H2、Hi 等低分子量气体的高速转速和进气性能(高压缩比)。
采用枢轴轴承和氟化物油(饱和蒸汽压力稳定且低的油),
实现无无限油接近零的环境。
实现清洁、超高真空是可能的。
采用精细动态平衡转子和高
效轴承,实现低噪音和低振动。
特殊功能/其他应用
用于分析设备、研
发设备和实验设备的主泵系统。
用于低分子气体的主泵送系统,
如 H2 和 He。
用于分析设备和
评估设备的主泵系统,具有振动敏感性
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