涡轮分子真空泵 UTM-FH, FW series

润滑单级防腐蚀

从350L/s到世界上最大的6300L/s （数字磁控轴承型）的丰富变化。 可保持稳定的泵送性能，防止 背压变化（FH 系列）。 可选内部加热系统，可控制转子温度 ，减少侧反应副产物（FW 系列）的附着力。 优异的防腐表面处理（不含三氟三氟三氟三氟三氟三 氟四氟三氟四氟三 根据 需要，可选择特殊表面处理（例如：镀镍 + 阳离子电沉积、特殊沉积膜、铝阳极氧化处理）。 可安装在所有方向。 变速系统使 抽水速度从 25% 到 100% 变为可能。 由于使用无耦合系统和 无调谐系统，因此不限制任何电源和泵主单元的组合，以改变电缆长度。 使用@@ 无电池 系统，在停电时使用再生能源自发发电作为备用电源。 麻烦的电池更换是没有必要的。 内置监控/自我诊断和通信 功能，可配置集中监控系统。 采用断裂能量吸收结构的安全设计， 可减少 泵发生故障时对真空系统的损坏。 通过 空气冲入试验、各种触碰试验、 转子强制破坏试验、异 物跌落试验（Si 晶圆掉落）等实验实现了高耐久性和高可靠性。