旋片真空泵 LR/HR/UR series

干式单级氦气

干式真空泵 LR/HR/UR系列 ULVAC 采用独特的方法利用干式泵体内产生的热量，使LR/HR/UR系列即使在最严格的工艺中也能发挥作用。 ULVAC 将设计工作重点放在在所有泵级保持极均匀的高温上，使该系列泵最适于 CVD 和蚀刻应用。 ULVAC 的 ECO-SHOKE 可添加到 LR 泵中，对于任何轻型工艺（包括抽空气或氮气），可节省高达 70% 的能源。低温泵：LR 系列泵专为负载锁定或 PVD 工艺而设计。 ULVAC 独特的铝制设计使整个泵体温度分布非常均匀：HR Aeries 泵专为CVD 和蚀刻工艺而设计。 ULVAC UR 系列泵专为需要加热泵、加热气体管路和/或加热排气管的应用而设计。 优异的氦气泵能力：罐装电机提供安全性和易于维护 电源故障保护：泵可承受长达 1000ms 的电源中断。 优异的耐腐蚀性：内部部件经过特殊处理，具有较高的表面硬度和耐腐蚀性。 这样可以防止泵内部部件在 暴露于腐蚀性气体时发生磨损和腐蚀。 通信功能：能够导出包括警告和警报在内的泵数据。 提供广泛的泵控制。 CE 标记可用：CE 标记可应要求提供。