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临界尺寸测量系统 Spector
光学用于半导体高精度

临界尺寸测量系统 - Spector - TZTEK Technology Co.,ltd - 光学 / 用于半导体 / 高精度
临界尺寸测量系统 - Spector - TZTEK Technology Co.,ltd - 光学 / 用于半导体 / 高精度
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产品规格型号

物理量
临界尺寸
所用技术
光学
所测量的产品
用于半导体
其他特性
高精度

产品介绍

天准为掩模生产过程中的测量提供高精度、高重复性系统，适用产品包括但不限于COG和PSM。 针对掩模来料测量，天准提供长距离工作物镜。测量包括掩模版上CD的分布，同时系统提供可见光和紫外光照明，均可用于反射和透射模式。紫外光照明可用于测量最小300m的特征尺寸，3sigma 重复性通常在纳米范围内。 主要特点 •MaskCD •最大支持14寸掩模以及定制形状 •可配置可见光、紫外光，支持穿透和反射光 •SECS/GEM •长期维护成本低，喼定可靠

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