套刻对准是将工艺上下层对准的过程,套刻误差定义为两层之间的偏移。套刻误差测量通常是指对两层不同材料的不同套刻标记,通过图像、算法处理获得两层之间偏移值的过程。
针对测量套刻误差,天准半导体测量设备支持测量Box-in-Box, Frame-in-Frame, L-Bars, Circle-in-Circle, Cross-in-Cross 或定制开发其他的结构。
光学测量是一种非接離式、非破坏性的测量技术,精确且快速,可通过CCD图像提取结构强度信思来计算宽度。强度图必须要进行额外处理,以使其免受噪声或变形的干扰。
天准半导体测量设备己具备消除这类干扰的功能,对低于0.7的特征结构,系统支持使用UV光测量
测量设备拥有定期自动校准功能,支持测量透明和半透明的介质膜,最可测量三层膜。
主要特点
•晶圆謨厚、关尺寸测
•最大支持8寸晶圆
•全自动校准与测量
•SECS/GEM
•长期维护成本低,喼定可靠