Array制程自动光学检测设备采用天准自主开发Virg。软件平台和独有平台标定技
术,适用于Array基板的全制程缺陷检测,扫描速度快,成像精度高(检测精度
1.04m/l.54m可切换)。
品控难点
前段制程是显示面板制造过程中重要环节,Array面板制程利用A01检测技术监控制造过程的外观缺陷,其检测精度和效率对产品良率和成本产生重要的影响。外围电路、不规则区域的检测困难,
成为各显示工厂Array段品控的难占
设备优势
·天准独有的标定平台技术支持图像更好拼接,实现分区域检测,对AA区采用周期对比的方式,对外围区域采用Pane|toPane|对比方式
·天准自主开发的Virg。软件平台支持矩形、圆形、半圆形等异形Map建立
·检测精度1.0m/1.54m可切换